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IXION 193 SLM The IXION 193 SLM is a single frequency all-solid-state laser system for applications such as optical metrology, calibration of 193 nm stepper optics or bandwidth control of high power ArF excimer lasers...
Jun 11, 2025 · 该成果表明固态系统可在深紫外波段产生以前只有气体激光才能获得的特殊光束，为混合式ArF激光器的注入种子光源等应用打开了大门。 美中不足在于输出功率70mw远小于商业化DUV光源功率100W。
Mar 25, 2025 · 中科院成功研发出全球首台能发射193nm深紫外光的全固态激光器！ 这玩意儿可是光刻机的“心脏”，直接关系到芯片制造的命脉。
Mar 27, 2025 · 这是首次从固态激光器产生 193 纳米涡旋光束。 这种光束有望成为混合 ArF 准分子激光器的种子，并可能在晶圆加工、缺陷检测、量子通信和光学微操作方面有重大应用。 这种创新的激光系统不仅提高了半导体光刻的效率和精度，还为先进制造技术开辟了新途径。
该激光器是德国 Xiton Photonics 的全固化单频激光器，波长为 193.368 nm，可用于光学计量、光刻、干涉仪等应用。先锋科技提供产品咨询、保修、维修和计量校准服务，以及相关产品和资料下载。
Sep 3, 2025 · 顶尖科仪作为德国Xiton Photonics公司的中国区域代理商，为中国市场提供IXION-193系列深紫外激光器。IXION 193 SLM是⼀款单频全固态激光系统，专为光学计量、193nm步进光刻机光学系统校准和⾼功率ArF准分⼦激光器带宽控制等应⽤设计。
该激光器是一款单频全固态激光器，可用于光学度量，193nm的校准光源，高功率ArF准分子激光器的带宽控制等应用。激光器的中心波长可以在190-194nm之间选择，选择精度高达0.01nm，还可选择内部集成高精度光谱仪，实现波长的在线控制。
