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国产光刻机迎来突破？350nm步进光刻机发运了_芯片_领域_技术
2 days ago · 这不仅关乎产业安全，更将推动5G、新能源等战略产业的健康发展。 国产光刻机的每一步突破，都在为“中国芯”注入新的底气。 现在，整个行业都在期待：当国产光刻机在更多细分领域站稳脚跟，中国芯片产业的“卡脖子”问题或将迎来系统性解决的契机。
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国产高端光刻设备再进一步：上海芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运...
2 days ago · 350nm步进光刻机（AST6200）发运仪式合影 随着 5G 通信、新能源汽车、光通信等产业的快速发展，以 碳化硅 为代表的化合物半导体市场需求持续增长。
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芯上微装首台350nm步进光刻机发运 - 知乎专栏
芯上微装首台350nm步进光刻机（AST6200） 芯上微装指出，AST6200具有以下五大特点： 1、高分辨率成像 可满足先进工艺需求，搭载大数值孔径投影物镜，结合多种照明模式与可变光瞳技术，实现350nm高分辨率，满足当前主流化合物半导体芯片的光刻工艺要求。
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芯上微装首台350nm步进光刻机正式发运，国产高端光刻家族再添新成员 2...
3 days ago · 350nm步进光刻机（AST6200）发运仪式合影 01 乘势而上，共筑半导体产业新生态 随着5G通信、新能源汽车、光通信、激光雷达、Micro LED新型显示等新兴产业的迅猛发展，化合物半导体正成为支撑下一代信息技术的核心力量。
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国产高端光刻机再突破：上海芯上微装首台350nm步进光刻机发运|光刻机|...
2 days ago · 11 月 26 日消息，上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）昨日宣布：公司自主研发的首台 350nm 步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收，启程 ...
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上海芯上微装首台 350nm 步进光刻机宣布发运，国产高端光刻家族再添新成员 -...
2 days ago · 上海芯上微装宣布首台350nm步进光刻机AST6200发运，标志着国产半导体装备迈向高端化。 该设备支持多种基片和工艺，软件全自主可控。
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国产光刻机再下一城！上海芯上微装首台350nm步进光刻机发运
AST6200光刻机是芯上微装基于多年光学系统设计、精密运动控制与半导体工艺理解积淀，倾力打造的高性能、高可靠性、全自主可控的步进式光刻设备 ...
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国产光刻新突破！上海芯上微装首台350nm步进光刻机启程发往客户-科技-...
2 days ago · 上海芯上微装科技股份有限公司（AMIES）近日宣布，其自主研发的首台350纳米步进光刻机AST6200已顺利完成出厂调试与验收，并正式启程运往客户现场。这一突破标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次取得关键进展，为国产半导体装备向高端化、自主化迈进树立了新的里程碑。 随着5G通信、新能源 ...
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2025年光刻机行业深度报告：核心技术、竞争格局、国产替代及相关公司...
Jul 17, 2025 · 光刻机行业深度报告：核心技术、竞争格局、国产替代及相关公司深度梳理.pdf 光刻机行业深度报告：核心技术、竞争格局、国产替代及相关公司深度梳理。光刻机是芯片制程核心设备。光刻工艺是对光刻胶进行曝光和显影形成三维光刻胶图形的过程，直接决定了集成电路制造的微细化水平。全球 ...
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首台350nm步进式光刻机发运：中国的光刻机厂商，又多了一家|佳能|微电...
2 days ago · 但是，不能单纯的看350nm这个分辨率，这台350nm的步进式光刻机，主要是用于以碳化硅（SiC）新型芯片领域的。 要知道碳化硅（SiC）这种芯片，现在广泛用于5G通信、新能源汽车、光通信、激光雷达、Micro LED，已经是越来越重要，被称之为第二代半导体。